全部作者	陈 美汝
论文名称	以回旋溅镀系统于蓝宝石基板沉积矽掺杂氮化铝薄膜之研究
研讨会名称	2012年中国材料科学学会年会
举行地点	中华民国云林县虎尾镇
会议开始时间	2012-11-23
会议结束时间	2012-11-24
作者顺序	第三作者