全部作者 | 陳 美汝 |
---|---|
論文名稱 | Investigation on Reducing Dislocation Density of AlN Films Using AlN Buffer Layers |
研討會名稱 | International Electron Devices & Materials Symposium 2017 (IEDMS 2017) |
舉行地點 | 中華民國新竹市 |
會議開始時間 | 2017-09-06 |
會議結束時間 | 2017-09-08 |
作者順序 | 第一作者 |
全部作者 | 陳 美汝 |
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論文名稱 | Investigation on Reducing Dislocation Density of AlN Films Using AlN Buffer Layers |
研討會名稱 | International Electron Devices & Materials Symposium 2017 (IEDMS 2017) |
舉行地點 | 中華民國新竹市 |
會議開始時間 | 2017-09-06 |
會議結束時間 | 2017-09-08 |
作者順序 | 第一作者 |