全部作者	陳 美汝
論文名稱	Low-temperature deposition of AlN on sapphire substrates using Helicon Sputtering System
研討會名稱	2009 International Electron Devices and Materials Symposia
舉行地點	NATTWN-台灣，中華民國桃園縣
會議開始時間	2009-11-19
會議結束時間	2009-11-20
作者順序	第一作者