全部作者	陈 美汝
论文名称	SAW devices fabricated on single crystal AlN on sapphire substrates using helicon sputtering system
研讨会名称	2009第八届台湾电力电子研讨会暨展览会
举行地点	中华民国 台湾中坜市
会议开始时间	2009-09-04
会议结束时间	2009-09-04
作者顺序	第二作者